光电厂洁净室检验参考报告
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检测区域 |
检测指标 |
计量单位 |
设计级别 |
技术要求 |
检测结果 |
结论 |
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边反车间 |
悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
10000级 |
0.5um≤352000 |
24000 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
2750 |
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风速 |
m/s |
10000级 |
≥20 |
22 |
合格 |
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印刷区域
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悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
10000级 |
0.5um≤352000 |
16600 |
合格 |
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|
5um≤2930 |
1045 |
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风速 |
次/小时 |
10000级 |
≥20 |
40 |
合格 |
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检验区域 |
悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
10000级 |
0.5um≤352000 |
50000 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
883 |
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风速 |
次/小时 |
10000级 |
≥20 |
40 |
合格 |
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包装区域 |
悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
10000级 |
0.5um≤352000 |
25088 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
706 |
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|
风速 |
次/小时 |
10000级 |
≥20 |
40 |
合格 |
||||
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检测结论：符合规范要求。
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检测人 |
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检测日期 |
2015年5月2日 |
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检测区域 |
检测指标 |
计量单位 |
设计级别 |
技术要求 |
检测结果 |
结论 |
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|
更衣缓冲 |
悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
100000级 |
0.5um≤3520000 |
369964 |
合格 |
|||
|
5um≤29300 |
11542 |
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|
风速 |
m/s |
100000级 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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|
油墨室
|
悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
100000级 |
0.5um≤3520000 |
1839458 |
合格 |
|||
|
5um≤29300 |
5948 |
||||||||
|
风速 |
次/小时 |
100000级 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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光检测区域 |
悬浮粒子平均浓度 |
粒/m3 |
100000级 |
0.5um≤3520000 |
1839458 |
合格 |
|||
|
5um≤29300 |
5948 |
||||||||
|
风速 |
次/小时 |
100000级 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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|
检测结论：符合规范要求。 |
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检测人 |
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检测日期 |
2015年5月2日 |
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