洁净车间湿度过高会造成哪些问题
2016-11-04 06:06:41 作者:admin 出处:科瓦特
洁净车间温度和湿度的项目主要是根据工艺要求来确定的,还要考虑到人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,已经对温湿度要求的过程越来越严格的趋势。
关于温度要求的具体过程这里就不详细介绍,但作为一般原则,由于洁净车间越来越多的精密加工,所以温度波动范围的要求越来越小。例如,在用于大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为玻璃和掩模材料的硅晶片之间的热膨胀系数的差异变得越来越小。100微米直径的硅晶片,温度升高1度,它引起的线性膨胀为0.24微米,因此必须有±0.1度恒定的温度,而湿度值一般较低,这是因为人出汗后产品会被污染,特别是害怕钠的半导体车间,这种无尘洁净车间作业不应超过25度。
高湿度会导致很多问题。如果相对湿度超过50%,则冷却水的管壁上会发生冷凝现象。如果发生在精密设备或者是电路中,可能会发生各种事故。相对湿度在50%时容易生锈。除此之外,无尘洁净车间工作湿度过高会通过空气中的水分子把硅片表面的附着的灰尘化学吸附在表面而难以去除。相对湿度越高,粘附越难去掉,然而当相对湿度小于30%时,由于静电力的作用,颗粒也容易被吸附在表面上,大量半导体器件容易破裂。
上一篇:洁净室排风系统的功能体现 下一篇:洁净室如何防止污染
点击排行榜
- 洁净车间的对设计和建筑的要求标准
- 浅谈洁净室施工值得注意的方面
- 食品行业为何对净化工程要求如此严格?
- 洁净厂房对于紧急情况的安全疏散需知
- 无尘车间洁净工程要注意什么
- 一文全解“净化车间”:原理、应用与发展
- 无尘室达到一定洁净度,还需要清洁吗
- 洁净车间装修的具体要点有哪些
- 万级洁净室的标准与参数
- 科瓦特成功签约三菱重工口罩洁净车间工程
最新相关文章
- 建一个口罩厂需要什么条件?
- 影响洁净车间造价的因素有哪些
- 洁净室装修在施工期间哪些要求不容遗忘
- 洁净室中洁净度千级,百级,十级指的是什么
- 制药厂建GMP洁净车间的理由?
- 珠海洁净室设计
- 食品无尘车间要达到什么标准
- 如何管理生物洁净室呢
- 五大行业无尘车间还需保持恒温恒湿
- 电子净化工程之安装使用基本常识
成功案例
![]() |
立讯(常熟)千级净化车间 |
![]() |
中山全康医疗科技公司净化车间 |
![]() |
广州海瑞药业GMP净化车间 |
![]() |
长沙天仪研究院洁净车间工程 |
![]() |
长沙电子材料洁净车间 |