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洁净工程车间怎样控制污染

2016-10-17 17:43:50   作者:kewatt  出处:科瓦特

  在显示器生产中,洁净工程车间环境污染控制的好坏决定了显示器生产效率的高低。显示器的整个生产过程都必须在受控环境要求中进行,中山科瓦特净化工程公司告诉大家:大部分的显示器都在10万级洁净工程车间中生产。随着高科技的发展需求,有些显示器必须在高精度的洁净工程环境下生产。?其污染控制难度的相应变大,需采用适合的分析产率和尘粒产生的方法。厂家并不总是分析尘粒的组成,他们往往通过查看玻璃面板的生产过程来查找、分析尘粒产生的根本原因。

洁净工程车间怎样控制污染

  进入洁净工程车间的人员必须要穿洁净服,别外每周要进行清洗,包装前需测试尘粒度,然后才能投入使用。所用的消耗品,包括抹布、拖把、过滤器等在进车间前需灭菌并双层包装。洁净工程车间的工作人员每六个月需经再次培训以加强工作技能。

  为了更好地控制污染,在洁净车间,需定期监控,保证环境的洁净度和工具的运转正常。系统性清洁卫生和定期检修可以帮助降低洁净车间的尘粒度。在洁净车间最好地监控在线尘粒的方法就是使用一块作证的面板,这块面板是一块带金属层的玻璃衬底。将这块面板放在洁净车间的内移动,可以监控不同区域的尘粒。如果尘粒大量增多,就需进行分析,解决问题。

  污染物可能对工艺过程和器件产生下列影响:器件工艺良品率。在一个污染环境中制成的器件会引起多种问题。污染会改变器件的尺寸,改变表面的洁净度,并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生产的过程中,有一系列的质量检验和检测,他们是为检测出被污染的晶片而特殊设计的。高度的污染使得仅有少量的晶片能够完成全工艺过程,从而导致成本升高。

  器件性能。一个更为严重的问题是在工艺过程中漏检的小的污染。晶片看起来是干净的,但其中未能检测出来的颗粒、不需要的化学物质和高浓度的可移动离子污染物,可能会改变器件的电性能。这个问题通常是在芯片切割时的电测试中显现出来。

  器件可靠性。最令人担心的莫过于污染对器件可靠性的失效影响。小剂量的污染物可能会在工艺过程中进入晶片,而未被通常的器件测试检验出来。然而,这些污染物会在器件内部移动,最终停留在电性敏感区域,从而引起器件失效,因此洁净工程行业的环境要求与发展会逐渐成为高科技行业关注的目标,

  随着显示器行业和市场的发展,对显示器品质的要求也越来越高。品质控制工具逐渐成为厂家管理生产的方法。同时,显示器行业的标准化也是未来发展的一个趋势,这无疑把洁净工程建设推向了一个更高的平台。