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百级无尘车间的装修标准以及设计参数

2018-03-03 10:00:54   作者:kewatt  出处:科瓦特

  无尘车间级别不同,空气洁净度也会不同的,而且对于无尘车间的整体设计规划区别,接下来小编就带大家了解下百级无尘车间的装修标准以及设计参数!
 

百级无尘车间标准
 

  百级无尘车间设计装修的标准的A级就是每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下。

  当前,在芯片生产加工上的无尘标准的要求就是要高于A级的,像这样的高的要求标准主要是被应用在在一些等级较高芯片生产上,而业内称之为的1K级别的就是微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内。

  百级无尘车间设计参数

  温度:22℃±2;湿度:55%±5;基本需要满布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系统。

  还有保持正压,相邻房间压力梯度保证在10pa左右。

  百级无尘车间若非得用换气次数来衡量的话200次/h以上,

  百级无尘车间若是以层流风速来说的话>0.35m/s,

  百级无尘车间若以HEPA高效空气过滤器对吊顶覆盖率的话>50%。