净化厂房(洁净区)监测标准表(下篇)
变更记录 |
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版本号 |
生效日期 |
变更原因、依据及详细变更内容 |
00 |
2014年1月1日 |
原始版本 |
区域 内容 |
10000级区 |
100级 |
||||
温湿度 |
标 准 |
温度18-26℃,相对湿度45%-65% |
|
|||
测定频次 |
2次/班(上、下午各一次) |
|
||||
压差 |
标 准 |
不同洁净级别≥5Pa、与外界相连≥10Pa,相同洁净度级别不同功能房间压差梯度不小于3Pa |
|
|||
测定频次 |
2次/班(上、下午各一次) |
|
||||
悬浮 粒子 |
静态标准 (个/m3) |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
|
≤350000 |
≤2000 |
≤3500 |
0 |
|||
测定频次 |
1次/季度 |
1次/季度 |
||||
动态标准 (个/m3) |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
||
≤3520000 |
≤29000 |
≤3520 |
20 |
|||
测定频次 |
1次/周 |
1次/周 |
||||
沉降菌 |
静态标准 (CFU/皿) |
≤3 |
<1 |
|||
测定频次 |
1次/季度 |
1次/季度 |
||||
动态标准 (CFU/皿) |
≤50 |
平均应<1 |
||||
测定频次 |
1次/周 |
1次/班 |
||||
浮游菌 |
动态标准 (CFU/ m3) |
≤100 CFU/ m3 |
<1 |
|||
测定频次 |
1次/周 |
1次/周 |
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